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微電子用鉻靶

材質:Cr

執行標準: 按圖紙生產

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發布日期: 2023-07-09 10:56:58

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詳細描述 / Detailed description

公司生產的鉻靶材采用先進的熱等靜壓(HIP)工藝生產,產品包括矩形靶、圓弧靶、環形靶和大長徑比整體成形管靶等類型,具有純度和密度可控、晶粒細小均勻、使用壽命長等優點。

鉻靶性能
純度/%99.599.95
密度/g/cm3≥7.12≥7.12
晶粒度/μm≤100≤100
金屬雜質總和/ppm≤5000≤500
熱導率/W/m.K60100
熱膨脹系數/1/K8×10-68×10-6
規格尺寸/mm平面靶≤1500×500≤1500×500
旋轉靶熱等靜壓整體成形      長度≤2000     厚度≤15熱等靜壓整體成形          長度≤2000     厚度≤15

2N5微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
標準≤1500≤1200≤1500≤200≤50≤1400≤300
測試值98030060062501200200

2N8微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
標準≤800≤300≤400≤200≤50≤1000≤100
測試值7407892845034030

3N微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
標準≤500≤100≤150≤150≤30≤500≤100
測試值2904780902845050

3N5微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)銅(Cu)鎳(Ni)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
標準≤100≤50≤50≤10≤50≤50≤30≤150≤80
測試值504540710242713730
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